空化泡的擴大以及爆裂(內爆)
氣泡是在液體中施加高頻(超聲頻率)、高強度的聲波而產生的。因此，任何超聲清洗系統都必須具備三個基本元件：盛放清洗液的槽、將電能轉化為機械能的換能器以及產生高頻電信號的超聲波發生器。
超聲清洗的優越性
超聲波清洗機目前已被認識到的優點如下： 高精度 由於超聲波的能量能夠穿透細微的縫隙和小孔，故可以應用與任何零部件或裝配件的清洗。被清洗件為精密部件或裝配件時，超聲清洗往往成為能滿足其特殊技術要求的清洗方式； 快速 超聲清洗相對常規清洗方法在工件除塵除垢方面要快得多。裝配件無須拆卸即可清洗。超聲清洗可節省勞動力的優點往往使其成為經濟的清洗方式； 一致 無論被清洗件是大是小，簡單還是復雜，單件還是批量或在自動流水線上，使用超聲清洗都可以獲得手工清洗*的均一的清潔度。
頻率的重要性
當工作頻率很低(在人的聽覺范圍內)就會產生噪音。當頻率低於20kHz時，工作噪音不僅變得很大，而且可能超出職業安全與保健法或其他條例所規定的安全噪音的限度。在需要高功率去除污垢而不用考慮工件表面損傷的應用中，通常選擇從20kHz到30kHz范圍內的較低清洗頻率。該 頻率范圍內的清洗頻率常常被用於清洗大型、重型零件或高密度材料的工件。騰惠超聲波提供20KHz的磁力換能器和25KHz的壓電換能器。
高頻通常被用於清洗較小、較精密的零件，或清除微小顆粒。高頻還被用於被工件表面不允許損傷的應用。使用高頻可從幾個方面改善清洗性能。隨著頻率的增加，空化泡的數量呈線形增加，從而產生更多更密集的沖擊波使其能進入到更小的縫隙中。如果功率保持不變，空化泡變小，其釋放的能量相應減少，這樣有效地減小了對工件表面的損傷。高頻的另一個優勢在於減小了粘滯邊界層(泊努里效應)，使得超聲波能夠'發現'極細小的微粒。這種情況近似於小溪中水位降低時可以看清溪底的小石子。
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